




在oled显示面板的制造过程中,需要在玻璃基板上进行有机膜层的真空蒸镀,该工作步骤需要在真空蒸镀机内来完成。因此,提供一种手套箱蒸镀一体机,本系统由真空镀膜系统和真空手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。
真空镀膜机工作时,需要先抽真空,使真空室处于真空状态,再进行镀膜;镀膜完成后,需要向真空室充气。现有技术中,真空镀膜机的充气管道直接与外界连通,容易把外界空气中的灰尘带入真空室,导致镜片上吸附灰尘,造成产品---真空蒸渡金属薄膜是在高真空条件下,以电阻、高频或电子加热使金属熔融气化,在薄膜基材的表面附着而形成复合薄膜,其中被镀金属材料用的1多的是铝,在塑料薄膜或纸张表面镀上一层极薄的金属铝即成为镀铝薄或镀铝纸,在镀铝薄膜生产过程中对于真空条件是有严格限定的,真空度过高或过低都会影响镀膜的性能,目前,工厂里使用的镀膜机对于真空度的控制并不是很稳定,导致生产过程中产品的性能不够稳定,因此,解决生产过程中镀膜机里的真空度不易控制的问题尤为重要,而且内部镀膜物件的温度高,需要及时降温,提高工作效率。
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是否需要配置低温捕集器polycold,低温捕集器可以说是一种锦上添花的设备,它能够---提高抽气的速度,将真空室内的可凝性气体吸附在冷盘管上,净化真空室内的气氛,使膜层---,在炎热潮湿的夏季,低温捕集器的使用无疑在很大程度上,真空镀膜系统,提高了生产效率。
冷却水循环系统,镀膜机需要配置冷却水循环系统,冷却水好使用去离子水,对于防腐蚀有很大的作用,---是真空室的焊道,一些容易生锈的部件等都有---的抑制作用,可以在去离子水中添加一些防腐剂,也可以防腐蚀。

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