高纯气体，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氮，氢，---而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体。而对于氧气，纯度为4个9即可称高纯氧；对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。氧气是无色，无味，---，不燃的气体，是---，能助燃，它与可燃性气体按一定比例混合后容炸。压缩氧气与油脂接触，温度超过油脂燃点时可发生自燃，因此，在与氧气接触的地方，只能使用经过---的材料。
---气体纯度。通过大型的储罐( 液压) 和输送管道将载气输送给仪器，在储罐出口安装有单向阀，可避免更换储罐时空气或水分混入，另外，还可在高压段之后安装有泄压开关球阀，将多余的空气或水分排放，从而---气体的纯度。
安全性提高。一般瓶装气体的充气压力大于或等于 14mpa/cm2，集中供气可根据需要降低系统压力，而且远离实验区域，提高了使用的安全性。另外，集中供气可将空气压缩机安放在供气室内，减少压缩机产生电火花带来的安全---，并可避免噪音对实验室的干扰。
1、---检漏仪表应采用质谱型---检测仪，其检测精度不得低于1*10-10mbar*l/s。
2、特气系统，内向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;
3、阀座测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;
4、外向测漏法测定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。
---检漏发现的泄漏点经修补后，应重新经过气密性试验，合格后再按规定进行---检漏。所有可能泄漏点应用塑料袋进行隔离。系统测试完毕，应充入高纯氮气，并进行吹扫。测试完毕后，应提交测试报告。
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