




1、所有气体管路都由高的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管组成。铜管只使用在气体管路的末端,对气体纯度要求不是太严格的地方。
2、气路安装管道不得和电缆、导电线路同架铺设。
3、易1燃气体,如乙1炔需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时,其间距不应小于0.5m;交叉敷设时间距不应小于0.25m。分层敷设时氢气管道应位于上方。
4、压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置,此净化装置需要并联一路,用单独的阀门隔离,以方便对过滤装置进行维修。
5、高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。
6、每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。
7、引到工作台的气体管路要安装单独的控制阀。工作台上要均匀排放各种气体的控制阀门。在---气管路前面建议安装气体净化装置。
8、每隔1.5米左右,气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的半径,设置合适的支架位置。所有弯曲处都要有支撑。气路安装管路所有的支架都要进行镀锌防腐处理。
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随着科技的迅猛发展,---质谱检漏仪及其应用技术也在不断发展和究善。各国的设备厂商相继推出了多种类烈的---质谱检漏仪,广泛应用丁航空航天,高纯供气系统,电力电子,汽车等各个行业,综观1新---质谱检漏仪的性能特点发现,---质谱检漏仪正向着高灵敏度、自动化、宽程、等---方向发展,高纯供气系统价格,这些特点---地满足了当前检漏应用的需求,也---地1推动了氮质谱检漏技术的不断发展。
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由于特气系统是一种具有高风险的供应系统,高纯供气系统,因此在生产线现场的维护需要、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。
(1)特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜,每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高,并且安全---。在维护前关闭钢瓶阀门,设置换瓶吹扫,程序自动进行抽气,高纯供气系统多少钱,置换等动作,根据气体性质的不同,一般至少吹扫60次以上,负压保压30分钟以上,---气柜各管路与阀门吹扫干净。
(2)管路的维护,由于不同的气体性质不一样,对管路维护的方法也不相同,对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫(n2purge),一般至少反复30次,对于有吸附性的液态源气体,由于管路容易堵塞,需要多次的反复的抽真空,抽完后关闭阀门,1小时后会出现压力表回表的现象,会造成管道泄漏的误导,遇到此情况打开真空器发生器继续抽,直到没有吸附气体释放为止。
以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试,一般正压保压压力为使用压力的1.2倍,负压保压为-12psi,保压时间至少120分钟以上,由于压力传感器(pt)受温度的影响,一般有2psi的正负波动。
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