大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米） ---规模集成电路厂（气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等），100mw以上的太阳能电池生产线（气体种类包括nh3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括nh3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括4、3、nf3）、光纤（气体种类包括sicl4）、硅材料外延生产线（气体种类包括hcl）等行业。它们的投资规模---，采用1---的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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由于特气系统是一种具有高风险的供应系统，因此在生产线现场的维护需要、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。
（1）特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜，每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高，并且安全---。在维护前关闭钢瓶阀门，设置换瓶吹扫，程序自动进行抽气，置换等动作，根据气体性质的不同，一般至少吹扫60次以上，负压保压30分钟以上，---气柜各管路与阀门吹扫干净。
（2）管路的维护，由于不同的气体性质不一样，对管路维护的方法也不相同，高纯供气系统哪里有，对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫（n2purge），一般至少反复30次，对于有吸附性的液态源气体，由于管路容易堵塞，需要多次的反复的抽真空，抽完后关闭阀门，高纯供气系统，1小时后会出现压力表回表的现象，会造成管道泄漏的误导，遇到此情况打开真空器发生器继续抽，直到没有吸附气体释放为止。
以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试，一般正压保压压力为使用压力的1.2倍，负压保压为-12psi，高纯供气系统公司，保压时间至少120分钟以上，由于压力传感器（pt）受温度的影响，一般有2psi的正负波动。
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真空检漏的方法很多，---质谱检漏仪的使用---提升了检漏工作效率。
漏孔是指真空器壁上存在的形状不定、极其微小的空洞或间隙。---通过其进入真空系统或容器中；
漏率（漏气速率）：是指单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器的气体量；
1小可检漏率：是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的1小漏率；
检漏灵敏度：也叫有效灵敏度，指检漏仪器在1佳工作状态下能检出的1小漏率；
反应时间：也称响应时间，是指从检漏方法开始实施（如喷射示漏气体）到指示方法或仪器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%时所需要的时间；
消除时间：是指从检漏方法停止（如停止喷吹示漏气体）到指示方法或仪器指示值下降到漏孔泄漏率的37%时所需的时间；
漏孔堵塞现象：指由于真空检漏作业操作不当导致尘埃或液体堵塞漏孔，检漏时似乎不漏气，但一经排气就会出现漏气的一种现象。
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