




随着微电子工业的发展,---规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求---严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。
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特气系统气体管道---检漏的顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。
1、内向检漏法(喷---法)采用管道内部抽真空,外部喷---气的方法检漏,高纯供气系统哪里有,测试管路系统的泄漏率。
2、阀座检漏法采用阀门上游充---气,下游抽真空的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。
3、外向检漏法(吸枪法)应采用管路内部充---气或---氮混合气,外部应采用吸枪检查漏点的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。
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所谓标准气体就是用来校正测量仪器、评价测定方法、给出未知样品气标准值的气体。它分为调整零位用标准气体(零位气体)、监测环境用标准气、工业分析用标准气体、医1疗仪器用标准气体、可燃性气体泄漏用标准气体、燃烧器尾气用标准气体六大类。由于使用了标准气,所以即使在不同场所测定,也具有相同测定值。
标准气体应用范围很广,在化工、石油冶金、机械、航天、电子、陶瓷、汽车、光纤、激光、潜水、、切割、焊接、食品加工等工业部门均使用大量的常用气体和特种气体。其中在石油化工领域对标准气体的需求量相对较大。
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