高真空镀膜机，镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的设备。其相关组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统.
一、真空主体——真空腔
根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用的有直径1.3m、0.9m、1.5m、1.8m等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。
二、辅助抽气系统
此排气系统采用“扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋polycold”组成
排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2pa左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。
排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）、油扩散泵三大部分组成。
机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。
机械泵有很多种，常用的有滑阀式（此主要应用于大型设备）、活塞往复式、定片式和旋片式（此目前应用广泛，本文主要介绍）四种类型。
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正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，真空镀膜系统价格，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。另外，有的真空泵不能在---压下工作，需要预真空;有的真空泵出口压强低于---压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如：2bv系列水环真空泵工作压强范围760mmhg~25mmhg(绝压)，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线)，其稳定的工作压强范围为760~60mmhg。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜，而不能让它在25~30mmhg下长期工作。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的---真空及工作压强要求。如：某真空干燥工艺要求10mmhg的工作真空度，选用的真空泵的---真空度至少要2mmhg，1好能达到1mmhg。通常选择泵的---真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
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1.厚度上的均匀性，也可以理解为粗糙度，在光学薄膜的尺度上看（也就是1/10波长作为单位，约为100a），真空镀膜的均匀性已经相当好，可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内，也就是说对于薄膜的光学特性来说，真空镀膜没有任何障碍。 但是如果是指原子层尺度上的均匀度，也就是说要实现10a甚至1a的表面平整，具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。
2.化学组分上的均匀性： 就是说在薄膜中，化合物的原子组分会由于尺度过小而很容易的产生不均匀特性，sitio3薄膜，如果镀膜过程不科学，那么实际表面的组分并不是sitio3，而可能是其他的比例，镀的膜并非是想要的膜的化学成分，这也是真空镀膜的技术含量所在。 具体因素也在下面给出。
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