高纯供气系统主要应用于钢瓶气、管道气及气体发生器等的高纯连续供气，应用于超微量水、氧分析仪、气相色谱仪、常压离子质谱仪等各类气体分析仪器纯化载气或零点气，也可用于纯度气体管道安装施工中的吹扫气体，更可以为半导体工艺设备提供纯的工艺气体。
气体净化系统根据需求采用常温或者高温吸附剂，电化学抛光316l不锈钢管件，出气口配置微米过滤器，其气体纯化指标达到各项杂质含量小于1ppb的---水平。
气体配比仪采用流量计，电化学抛光316l不锈钢管件，双卡套或者vcr气体接头。
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特气系统气体管道---检漏的顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。
1、内向检漏法(喷---法)采用管道内部抽真空，外部喷---气的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。
2、阀座检漏法采用阀门上游充---气，下游抽真空的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。
3、外向检漏法(吸枪法)应采用管路内部充---气或---氮混合气，外部应采用吸枪检查漏点的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。
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随着微电子工业的发展，---规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大，要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高，对气体中杂质和露1点要求---严格，需要达到ppb、ppt级，尘埃粒径求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。
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