一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于:
1、基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3、蒸发功率,速率
4. 真空度
5. 镀膜时间,厚度大小
组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易---,真空镀膜系统哪里有,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。
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涂层的镀膜机控制方法是直接的石英晶体微天平(qcm)的方法,该仪器可以直接驱动的蒸发源,通过pid控制回路传动挡板,使蒸发率。只要仪器和系统控制软件的连接,它可以控制涂层的全过程。但(qcm)的准确性是有限的,镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层。
此外,虽然qcm在低温下非常稳定,但温度高,它将成为对温度很敏感。在长时间的加热过程中,镀膜机很难避免传感器为敏感的区域,导致薄膜的重大错误。 光学监测是一种涂层优选的监控模式,镀膜机这是因为它能准确控制膜的厚度(如果使用得当)。
精度的提高,由于许多因素,但---的原因是光学厚度的监测。optimalswa-i-05单---长的光学监测系统,真空镀膜系统,是间接控制,镀膜机---的光学监测软件结合王博士的发展,真空镀膜系统多少钱,有效地---和灵敏度变化的光反应的膜厚度的减少终的误差的理论方法,提供监测波长的反馈或传输模式的选择和广泛的。---适用于涂布各种薄膜厚度监控包括不规则的膜。
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制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响。
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