




机械传动部分
涂层要求周边必须厚度均匀一致,因此,在涂层过程中须有三个转动量才能满足要求。即在要求大工件台转动(i)的同时,小的工件承载台也转动( ii),并且工件本身还能同时自转(iii)。在机械设计上,一般是在大工件转盘底部中央为一大的主动齿轮,周围是一些小的星行轮与之啮合,如果要实现产品自转的话,一般用拨叉拨动工件自转。
涂层的镀膜机控制方法是直接的石英晶体微天平(qcm)的方法,该仪器可以直接驱动的蒸发源,通过pid控制回路传动挡板,使蒸发率。只要仪器和系统控制软件的连接,它可以控制涂层的全过程。但(qcm)的准确性是有限的,镀膜机部分原因是其监测代替光学厚度的涂层。
此外,虽然qcm在低温下非常稳定,但温度高,它将成为对温度很敏感。在长时间的加热过程中,镀膜机很难避免传感器为敏感的区域,导致薄膜的重大错误。 光学监测是一种涂层优选的监控模式,镀膜机这是因为它能准确控制膜的厚度(如果使用得当)。
精度的提高,真空镀膜多少钱,由于许多因素,但---的原因是光学厚度的监测。optimalswa-i-05单---长的光学监测系统,是间接控制,镀膜机的光学监测软件结合王博士的发展,有效地---和灵敏度变化的光反应的膜厚度的减少终的误差的理论方法,提供监测波长的反馈或传输模式的选择和广泛的。---适用于涂布各种薄膜厚度监控包括不规则的膜。
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真空镀膜工艺中的真空系统也并非单一的真空泵,而是为了获得镀膜工艺中所必须的真空度,就需要将不同的泵进行组合使用。一般而言,该组合方式为机械泵、油扩散泵、无油泵组(分子泵、冷凝泵、钛扩散吸附泵)、管道阀门冷阱、真空室、冷却系统和真空测量。真空泵油雾过滤器主要用在旋片式机械泵上面,降低排气对空气产生的污染,在机械泵前也有---安装空滤,防止空气中的杂质与粉尘进入泵内污染泵油或者造成零部件的磨损。
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