




真空镀膜技术是在真空条件下采用物理或者化学方法,使物体表面获取所需膜体,真空镀膜技术根据其采用方法的不同科分成蒸发镀、溅射镀、离子镀、束流沉积以及分子束外延等,这次分析的镀膜设备采用的是磁控溅射镀膜。
真空室是真空设备的一个主要组成部位,真空镀膜设备真空室设计主要考虑的就是密封性和---性,结构必须要合理,真空设备的材料生产都是在真空室内进行的,材料对真空度的影响要小,设计不能马虎,要注意一些问题。
使用磁控溅射的真空镀膜机一般采用的是圆筒主体结构,结构上要---快速抽空,因气袋会缓慢的放气,因此要避免出现隔离孔穴,真空系统上端会加装磁控溅射,为了使真空室和元件有足够的强度,---在外部和内部的作用力下不产生形状的变化,厚度需要足够。
焊接是真空室制造中的一道关键工序,---焊接之后的真空室不会产生漏气现象,须合理设计焊接结构,提高焊接,处在真空的内壁粗糙度要抛光使室外室内表面很光洁,须---注意的是需做好防止生锈的措施。
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在平板显示器中
所有各类平板显示器都要用到各种类型的薄膜,而且,几乎所有类型的平板显示器件都需要使用ito膜,以满足透明电器的要求。可以毫不---的说,没有薄膜技术,就没有平板显示器件。
在太阳能利用方面
当需要有效地利用太阳热能时,就要考虑采用对太阳光线吸收较多、而对热辐射等所引起的损耗较小的吸收面。太阳光谱的峰值大约在波长为2-20μm之间的红外波段。由于太阳辐射与热辐射光谱在波段上有差异,因此,为了有效地利用太阳热能,真空镀膜哪里有,就必须考虑采用具有波长选择特性的吸收面。
理想的选择吸收面,是太阳辐射光谱的波段(可见光波段)吸收率(α)为1,在热辐射波段(红外波段)辐射率(ε)为0。
在防伪技术中
防伪膜种类很多,从使用方法可分为反射式和透射式;从膜系附着方式可以分为直接镀膜式、间接镀膜式或间接镀膜剪贴式。
在飞机防护涂层方面
飞机的钛合金紧固件,原来采用电镀方法镀镉。但在镀镉中含有氢,所以在飞行过程中,受到---、海水的腐蚀,镀层上容易产生“镉脆”,甚至引起“---”。
1964年,采用离子镀方法在钛合金紧固件上镀铝,解决了飞机零件的“镉脆”问题。在离子镀技术中,由于给工件施加负偏压,可以形成“伪扩散层”、细化膜层组织,因此,可以---提高膜层的耐腐蚀性能。
在光学仪器中
人们熟悉的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪,以及日常生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等,它们都离不开镀膜技术,镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。
在信息存储领域中
薄膜材料作为信息记录于存储介质,有其得天独厚的优势:
由于薄膜很薄,可以忽略涡流损耗;磁化反转---迅速;与膜面平行的双稳态状态容易保持等。
为了更精密地记录与存储信息,必然要采用镀膜技术。
在传感器方面
在传感器中,多采用那些电气性质相对于物理量、化学量及其变化来说,---敏感的半导体材料。此外,其中,大多数利用的是半导体的表面、界面的性质,需要尽量增大其面积,且能工业化、格制作,因此,采用薄膜的情况很多。
在集成电路制造中
晶体管路中的保护层(sio2、si3n4)、电极管线等,多是采用cvd技术、pvcd技术、真空蒸发金属技术、磁控溅射技术和射频溅射技术。可见,气相沉积是制备集成电路的技术之一。
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真空镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产品和生产进程等,为了使设备的运行状况---,必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。
设备的维护要有日常维护和定期维护
1,日常维护就是在当天生产中发现设备有---迹象,就马上解决。发现机械泵的油少了就要添加,不要认为这油是定期更换的,等到了时间再维护,到时候可能泵的转子就会磨损---了。再比如工件转架的轴承有些卡,就要更换轴承,而等到它的坏了再换,问题可就大了,可能引起转架电机烧毁等现象。
2定期维护,有人会问有了日常维护还有---定期维护吗?其实每一种设备都有自己的使用寿命,比如扩散泵用的的硅油,使用寿命为两年左右,我就规定1年半把它换掉,这样作是不是浪费,我觉得不浪费,从设备服务于生产来说是值得的,老板不希望看到的是机器在生产阶段出现问题。只要你把日常维护和定期维护做好了,在延长设备寿命的同时,生产过程中出现故障的几率也---降低。生产效率也提高了。
3,设备保养和维修1重要的是讲究“细心”,每一个人都力求做到“我办事,你放心”,也就是说我做的事情不需要别人和自己再有怀疑!做好这一点可少走好多弯路,其次是要善于分析现象,不能盲目的拆卸。说到这里,很多人都遇到过真空方面的漏气问题,真空部分出现了问题很麻烦,再加上我们公司没有检漏仪,这就要分阶段来找。
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