




持续和及时。集中供气系统采用手动、半自动或全自动切换系统,平时每个供气源为一开一备状态,可根据仪器工作条件对局部或整体气体压力、流量进行调节,能---仪器用气的流量和压力的稳定性、持续性,也能---量值传递不发生变化。
扩展性灵活。集中供气管道上可预留接气点以及能够扩展的点,并安装控制开关或堵头,方便扩展。所有用气的仪器前端均装控制阀。因此,可以在不影响其他仪器正常工作的情况下,扩展新的用气端点。
大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) ---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、nf3)、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,采用1的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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本公司生产的rz-ya-d系列全自动气纯化装置功能说明:
a、具有全自动功能,使用操作简单,开、停机只需按两个按钮,不需扭动任何阀门,这些工作都由plc程序自动进行;这还克服了手动和半自动机型因人为操作失误引起的气体不纯,因此纯气也稳定。
b、控制文本显示器采用合资品牌-昆仑通泰7吋液晶触摸屏,实时模拟显示工作流程状态和各种参数显示,并随时可以实现各参数的修正,---的方便工作人员的操作。
c、可根据用户需要配备在线分析仪,时时在线监测。

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