真空镀膜系统-真空镀膜-艾明坷科技公司

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    2024-4-17

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真空镀膜系统

真空镀膜工艺中的真空系统也并非单一的真空泵,而是为了获得镀膜工艺中所必须的真空度,就需要将不同的泵进行组合使用。一般而言,真空镀膜,该组合方式为机械泵、油扩散泵、无油泵组(分子泵、冷凝泵、钛扩散吸附泵)、管道阀门冷阱、真空室、冷却系统和真空测量。真空泵油雾过滤器主要用在旋片式机械泵上面,降低排气对空气产生的污染,在机械泵前也有---安装空滤,防止空气中的杂质与粉尘进入泵内污染泵油或者造成零部件的磨损。




真空镀膜技术的应用领域

在平板显示器中

所有各类平板显示器都要用到各种类型的薄膜,而且,几乎所有类型的平板显示器件都需要使用ito膜,以满足透明电器的要求。可以毫不---的说,没有薄膜技术,就没有平板显示器件。

在太阳能利用方面

当需要有效地利用太阳热能时,就要考虑采用对太阳光线吸收较多、而对热辐射等所引起的损耗较小的吸收面。太阳光谱的峰值大约在波长为2-20μm之间的红外波段。由于太阳辐射与热辐射光谱在波段上有差异,因此,为了有效地利用太阳热能,就必须考虑采用具有波长选择特性的吸收面。

理想的选择吸收面,是太阳辐射光谱的波段(可见光波段)吸收率(α)为1,在热辐射波段(红外波段)辐射率(ε)为0。

在防伪技术中

防伪膜种类很多,从使用方法可分为反射式和透射式;从膜系附着方式可以分为直接镀膜式、间接镀膜式或间接镀膜剪贴式。

在飞机防护涂层方面

飞机的钛合金紧固件,原来采用电镀方法镀镉。但在镀镉中含有氢,所以在飞行过程中,受到---、海水的腐蚀,镀层上容易产生“镉脆”,甚至引起“---”。

1964年,采用离子镀方法在钛合金紧固件上镀铝,解决了飞机零件的“镉脆”问题。在离子镀技术中,由于给工件施加负偏压,可以形成“伪扩散层”、细化膜层组织,因此,可以---提高膜层的耐腐蚀性能。

在光学仪器中

人们熟悉的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪,真空镀膜报价,以及日常生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等,它们都离不开镀膜技术,镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。

在信息存储领域中

薄膜材料作为信息记录于存储介质,有其得天独厚的优势:

由于薄膜很薄,可以忽略涡流损耗;磁化反转---迅速;与膜面平行的双稳态状态容易保持等。

为了更精密地记录与存储信息,必然要采用镀膜技术。

在传感器方面

在传感器中,多采用那些电气性质相对于物理量、化学量及其变化来说,---敏感的半导体材料。此外,其中,大多数利用的是半导体的表面、界面的性质,需要尽量增大其面积,且能工业化、格制作,真空镀膜多少钱,因此,采用薄膜的情况很多。

在集成电路制造中

晶体管路中的保护层(sio2、si3n4)、电极管线等,多是采用cvd技术、pvcd技术、真空蒸发金属技术、磁控溅射技术和射频溅射技术。可见,气相沉积是制备集成电路的技术之一。

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