




高纯氮气纯化装置以深冷法制氮、psa变压吸附制氮,氮膜分离制氮的普通氮气为原料,经过加氢催化除氧,冷凝、吸附二级干燥,过滤,除去氮气中的杂质氧、---、水份和尘埃,获得高纯度的氮气。用户对纯氮中的含氢量有特殊要求时,我们可以通过工艺手段来控制氮气中的氢气含量。若原料氮的氧含量超过0.1%时,则可用加氢除氧和除氢的方式来获得无氢高纯氮,若原料氮的氧含量小于0.1%,则采用化学除氧工艺方法。
了解实验室设计的都知道:实验室的任何的设计都是有规格要求的,出了这个要求的范围那么实验室的设计就有漏洞,就不合格,就容易发生事故。实验室的气体的排放是非常重要的,如果说实验室气体管道设计不合理,高纯供气生产厂家,工作人员就容易出事,甚至---的就会有生命危险。
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随着微电子工业的发展,---规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求---严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。
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