真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
了解被抽气体成分,气体中含不含可凝蒸气,有无颗粒灰尘,有无腐蚀性等。选择真空泵时,需要知道气体成分,针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。
真空泵在其工作压强下,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等,也能达到清洁真空要求。
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1.真空室
涂层设备主要有连续涂层生产线及单室涂层机两种形式,不锈钢材料制造、表面进行化学抛光处理,真空室组件上焊有各种规格的法兰接口。
2.真空获得部分
在真空技术中,真空镀膜报价,真空获得部分是重要组成部分。真空的获得不是一种真空设备和方法所能达到的,真空镀膜公司,必须将几种泵联合使用,如机械泵、罗茨泵、分子泵系统等。
3.真空测量部分
真空系统的真空测量部分,就是要对真空室内的压强进行测量。像真空泵一样,没有一种真空计能测量整个真空范围,人们于是按不同的原理和要求制成了许多种类的真空计。
4.电源供给部分
靶电源主要有直流电源、中频电源、脉冲电源、射频电源(rf)。
5.工艺气体输入系统
工艺气体,真空镀膜,如氮气(n2)、氢气(h2)、氧气(o2)等,一般均由气瓶供应,经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀,然后通入真空室。
6.机械传动部分
涂层要求周边必须厚度均匀一致,因此,在涂层过程中须有三个转动量才能满足要求。
7.加热及测温部分
涂层设备一般有不同位置的加热器,用热电偶测控温度。但是,由于热电偶装夹的位置与工件位置不同,温度读数不可能是工件的真实温度。要想测得工件的真实温度,有很多方法,可以在工件上装高温试纸或热偶计。
8.离子蒸发及溅射源
多弧镀的蒸发源一般为圆饼形,俗称圆饼靶,也有长方形的多弧靶。靶座中装有磁铁,通过前后移动磁铁,改变磁场强度,可调整弧斑移动速度及轨迹。为了降低靶及靶座的温度,要给靶座不断通入冷却水。为了---靶与靶座之间的高导电、导热性,还可以在靶与靶座之间加锡垫片。
9.水冷系统
一般由冷水塔,冰水机,水泵等组成。
10.工控系统
1.建筑五金:卫浴五金(如水).门锁.门拉手.卫浴、五金合叶、家具等。
2.制表业:可用于表壳.表带的镀膜、水晶制品。
3.其它小五金:皮革五金.不锈钢餐具.眼镜框、刀具、模具等.
4.大型工件:汽车轮毂、不锈钢板.招牌.雕塑等。
5、不锈钢管和板(各种类型表面)
6、家具、灯具、宾馆用具。
7、锁具、拉手、卫浴五金、高尔夫球头、不锈钢餐具、器皿等五金制品镀超硬装饰膜。
8、手表、表带、眼镜、首饰等装饰品镀超耐磨装饰(金银)纳米膜和纳米膜和纳米叠层膜。
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