高纯供气系统

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    2024-3-17

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实验室集中供气系统

实验室集中供气系统由于操作简单、气流稳定、使用安全、运行成本低等特点,已作为当前广泛使用的现代供气方式。其系统主要由气源切换、供气管道、调压装置、用气点、监控及报警等系统组成。实验室集中供气系统涉及到管道如何布置、材料及规格如何选用、各阶段安装步骤和要求、工程验收等方面工作,一个好的实验室集中供气系统的设计需要统一考虑气体使用的安全性、便利性、以及管理和维护等问题,同时要考虑到实验室今后发展的需要,对于特殊气体还要考虑特殊的技术解决方案。因此,在实验室集中供气的设计时需要统筹规划,结合用户的实际情况,按照相关标准和规范进行设计





高纯气体的输送管路系统

随着微电子工业的发展,---规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求---严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。

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高纯供气系统

实验室一些仪器或设备的工作都需要各种各样的气体供应,通常使用气体的种类有高纯氧气、氮气; 气、氢气、---气; 、、---、,高纯供气系统,还有混合气体等甚至还有些设备还会用到有毒有害气体。有些气体用于仪器设备的驱动控制,如压缩空气。实验室供气的方式有两种,一种是传统的独立钢瓶分散供气模式,这种供气模式为每台仪器设备单独配置气体钢瓶,分别满足每台仪器设备的使用。另一种模式为集中供气模式,该方式以储气罐、杜瓦瓶、气体发生器等作为气源,配置气体发生系统或自动切换或手动切换等系统,实现气体的不间---应,通过耐压不锈钢管道将气体输送到用气端,每个端口的压力和流量可以按照仪器的要求进行单独控制,满足各种仪器设备的使用要求。








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