真空检漏的方法很多，---质谱检漏仪的使用---提升了检漏工作效率。
漏孔是指真空器壁上存在的形状不定、极其微小的空洞或间隙。---通过其进入真空系统或容器中；
漏率（漏气速率）：是指单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器的气体量；
1小可检漏率：是指采用某种检漏方法或仪器可能检测出来的1小漏率；
检漏灵敏度：也叫有效灵敏度，指检漏仪器在1佳工作状态下能检出的1小漏率；
反应时间：也称响应时间，是指从检漏方法开始实施（如喷射示漏气体）到指示方法或仪器指示值上升到其漏孔1大泄漏率的63%时所需要的时间；
消除时间：是指从检漏方法停止（如停止喷吹示漏气体）到指示方法或仪器指示值下降到漏孔泄漏率的37%时所需的时间；
漏孔堵塞现象：指由于真空检漏作业操作不当导致尘埃或液体堵塞漏孔，检漏时似乎不漏气，但一经排气就会出现漏气的一种现象。
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1.有部分气体具有毒、强腐蚀等特性，其一旦泄漏，就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害；
2.多种气体在同一个环境下使用，如果有两种会发生燃烧或爆1炸等---化学反应的气体同时泄漏，就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害；
3.多数气瓶出口压力1高可达15mpa，即150公斤/cm2，高纯供气生产厂家，如果发生气瓶口减压装置失灵，高纯供气报价，就有可能将一些部件激1射出去，其能量对人体或设备都具有致命性的伤害。
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随着微电子工业的发展，---规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大，要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高，对气体中杂质和露1点要求---严格，高纯供气公司，需要达到ppb、ppt级，尘埃粒径求控制小于0.1～0.05m的微粒，因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。
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