oled器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的关系到器件和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有mg/ag、mg:ag/ag、li/al、 lif /al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ito玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，黑龙江手套箱厂，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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主要功能在于对o2、h2o、有机气体的清除。广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境，如：锂离子电池及材料、半导体、---电容、特种灯、激光焊接、钎焊、材料合成、oled、mocvd等。也包括生物方面应用，如细胞低氧培养等。
1.密闭循环
手套箱内的惰性气体经循环风机和净化器密闭循环，不断地除水除氧
2.自动控制再生
除水除氧材料可以再生，再生过程由程序控制
3.自动清洗
手套箱内的气氛置换通过自动控制的清洗阀门完成
4.箱体压力控制
手套箱内压力通过plc自动控制，实验室手套箱厂， 工作压力+/- 10mbar内可以自由设定，超出+/- 12mbar系统自动保护
5.真空泵自动控制
真空泵要求在系统需要时自动开启
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