真空检测系统，目前基本都是用复合真空计，热偶规+电离规的组合，这个组合在遇到充入大量含有c元素的气体的工艺，电离规很容易毒化，造成电离规损坏，如果镀制含有大量c元素的气体的工艺，可以考虑，配置电容薄膜规。
真空电源，国产电源和进口电源的差距还是比较明显，当然价格也比较优惠，一台国产的20kw中频电源在8万左右，一台进口的中频电源在20万，进口电源的性能和---性，稳定性会---，国产电源由于产地就在国内，可能在服务上要好于进口电源。
真空镀膜在日常生活中非常常见，就是一个真空系统也比较复杂，现在，我们一起去探索一下真空镀膜的设备秘密吧。
真空镀膜设备不是单一的设备，而是设备组，它是由真空系统、蒸发系统，蒸发辅助系统，加热系统，整机的电气与自动化控制系统共同构成，今天，我们主要讨论的是真空镀膜设备中的真空系统。真空泵油雾过滤器也被运用在真空系统当中，使得真空镀膜工艺排放无污染，节能。
制的薄膜的均匀性都会受到某种因素影响。
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