一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于:
1、基片材料与靶材的晶格匹配程度
2、基片表面温度
3、蒸发功率,速率
4. 真空度
5. 镀膜时间,厚度大小
组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易---,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。
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1、漏率偏高就是我们通常所说的漏气;.
2、真空机组的抽气能力不够了,油被污染或氧化了:
3、真空室内太脏放气;
4、真空室内有漏水;
5、真空管道有漏气;.
6、或者是以上几种可能都有。
出现问题首先是要判断,是不是拆卸过东西,是不是漏水?阀门打开了吗?根据现象判断原因,然后再去根据判断找问题,可能会收到---的效果。
养成---的卫生习惯
相比以前我们厂的设备是灰尘满面、油渍不堪。也许很多人都认为,设备只要正常运转就可以了,搞得再干净也是做表面工作。我可是这样认为的,一个人连表面工作都作不来,真空镀膜多少钱,那真的还有内在、实在的工作吗?当然设备和设备周围的灰尘、油污对设备的本身的影响也是相当之大的。灰尘能产生静电,损坏电子元件;油污能使电线、水管硬化开裂,造成一些---的问题出现。---我们使
用的真空设备,还有它本身的特殊性。真空设备讲究的是-一个真空清洁度,真空清洁度越差,放气性就越大。这样使设备抽到较高的真空度所需的时间就越长。
或者---就无法抽到。这样一来就减少我们的产量,二来影响到了我们的产品的。
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电子束蒸发源蒸镀法
将蒸发材料放入水坩锅中,直接利用电子束加热,使蒸发材料气化蒸发后凝结在基板表面成膜,是真空蒸发镀膜技术中的一种重要的加热方法和发展方向。电子束蒸发克服了一般电阻加热蒸发的许多缺点,---适合制作熔点薄膜材料和高纯薄膜材料。
依靠电子束轰击蒸发的真空蒸镀技术,根据电子束蒸发源的形式不同,又可分为环形,直,e型和空心阴极电子等几种。
环形是由环形的阴极来发射电子束,真空镀膜价格,经---和偏转后打在坩锅内使金属材料蒸发。它的结构较简单,真空镀膜系统,但是功率和效率都不高,基本上只是一种实验室用的设备,目前在生产型的装置中已经不再使用。
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