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电子特气管道系统---检漏方法

特气系统气体管道---检漏的顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。

1、内向检漏法(喷---法)采用管道内部抽真空，高纯供气报价，外部喷---气的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

2、阀座检漏法采用阀门上游充---气，下游抽真空的方法检漏，高纯供气多少钱，测试管路系统的泄漏率。

3、外向检漏法(吸法)应采用管路内部充---气或---氮混合气，外部应采用吸检查漏点的方法检漏，测试管路系统的泄漏率。

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高纯供气系统

---工作环境。实验室内钢瓶、空压机等供气源的取消减少了占地面积，便于实验室设备和设施的布置，避免了其与实验室操作人员在一处造成的混乱和不便。

降低运行成本。集中供气系统可采用储气量较大的液态储罐供气，可---节省采购成本，高纯供气，减少更换气瓶、气罐的频次，节省劳动成本，减轻了维护人员的劳动强度，便于管理、维修和保养。