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工艺标准:严格执行德国手套箱技术标准、生产工艺。
气密性检测标准:整机系统气密性检测依据标准
欧美控制标准:稳定的操作系统,精1确控制箱体内气氛使水氧指标<1ppm,短期运行后可达0.1ppm,完全符合欧美进口品牌手套箱设备的水氧控制标准。
程序流程标准:控制程序按照欧美手套箱的电气部件工作流程编制运行程序,设备的使用性能,更稳定。
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oled器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的关系到器件和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有mg/ag、mg:ag/ag、li/al、 lif /al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ito玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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