首先,高纯供气哪里有,应对特气的危害性进行分析,通过本质安全设计,消除安全---。根据行业规范,宁夏回族自治高纯供气,对特气房选址、安全间距、防火分区、房间通风、电气防爆等进行评估。管道设计应进行保压和---测漏,---系统密闭性。钢瓶和管道阀门应选用隔膜或波纹管密封阀门。管道系统应采用焊接系统,机械接头均应置于抽风罩内。排放气体应进行安全处理。气体输送设备具有紧急切断功能。操作应遵循标准操作规程。
其次,采用监测手段,预防事故发生。设置气体泄漏侦测器,监控气体泄漏。可燃性气体应设置高温或火焰侦测器。危险气体应设置过流开关。特气系统气柜应进行负压监测,防止抽风系统的失效。侦测系统应与报警和紧急切断连锁。系统还应进行远程监控。监控系统应设置不间断电源。
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随着微电子工业的发展,---规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求---严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。
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实验室一些仪器或设备的工作都需要各种各样的气体供应,通常使用气体的种类有高纯氧气、氮气; 气、氢气、---气; 、、---、,还有混合气体等甚至还有些设备还会用到有毒有害气体。有些气体用于仪器设备的驱动控制,如压缩空气。实验室供气的方式有两种,一种是传统的独立钢瓶分散供气模式,这种供气模式为每台仪器设备单独配置气体钢瓶,分别满足每台仪器设备的使用。另一种模式为集中供气模式,高纯供气系统,该方式以储气罐、杜瓦瓶、气体发生器等作为气源,配置气体发生系统或自动切换或手动切换等系统,实现气体的不间---应,通过耐压不锈钢管道将气体输送到用气端,每个端口的压力和流量可以按照仪器的要求进行单独控制,满足各种仪器设备的使用要求。
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