




真空主体——真空腔根据加工产品要求的各异,真空腔的大小也不一样,目前应用1多的有直径1、3m、0、9m、1、5m、1、8m等,腔体由不锈钢 target=_blank>;不锈钢材料制作,要求不生锈、坚实等,真空腔各部分有连接阀,用来连接各抽气泵浦。
辅助抽气系统:排气系统为镀膜机真空系统的重要部分,主要有由机械泵、增压泵(主要介绍罗茨泵)、油扩散泵三大部分组成。此排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。排气流程为:机械泵先将真空腔抽至小于2、0*10-2pa左右的低真空状态,为扩散泵后继抽真空提供前提,之后当扩散泵抽真空腔的时候,机械泵又配合油扩散泵组成串联,以这样的方式完成抽气动作。
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真空镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的真空设备,一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成,排气系统采用“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。本公司从事真空镀膜设备的研发与生产拥有经验丰富的技术团队及的售后服务队伍为您解决设备在使用过程中遇到的任何问题。
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氧化物一氧化硅sio,二氧化硅sio2,二氧化钛tio2,二氧化锆zro2,二氧化铪hfo2,一氧化钛tio,五氧化三钛ti3o5,五氧化二铌nb2o5,五氧化二钽ta2o5,真空镀膜价格,氧化钇y2o3,氧化锌zno等高纯氧化物镀膜材料。
其它化合物---锌zns,---znse,氮化钛tin,碳化硅sic,钛酸---latio3,钛酸钡batio3,钛酸---srtio3,钛酸镨prtio3,硫1化镉cds等真空镀膜材料。
金属镀膜材料高纯铝al,高纯铜cu,高纯钛ti,高纯硅si,高纯金au,高纯银ag,高纯铟in,高纯镁mg,高纯锌zn,高纯铂pt,高纯锗ge,高纯镍ni,高纯金au,金锗合金auge,金镍合金auni,镍铬合金nicr,钛铝合金tial,锌铝合金znal,铝硅合金alsi等金属镀膜材料。
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