由于特气系统是一种具有高风险的供应系统，因此在生产线现场的维护需要、有经验的技术员完成。特气系统的维护主要包含气体柜维护和管路维护。
（1）特气柜又分为全自动特气柜与半自动特气柜，每种气柜的维护方法有一定的区别。全自动气柜维护自动化程度较高，并且。在维护前关闭钢瓶阀门，设置换瓶吹扫，程序自动进行抽气，置换等动作，根据气体性质的不同，一般至少吹扫60次以上，负压保压30分钟以上，---气柜各管路与阀门吹扫干净。
（2）管路的维护，由于不同的气体性质不一样，对管路维护的方法也不相同，对腐蚀性气体的管道需要多次用高纯氮气吹扫（n2purge），高纯供气生产厂家，一般至少反复30次，对于有吸附性的液态源气体，由于管路容易堵塞，需要多次的反复的抽真空，抽完后关闭阀门，1小时后会出现压力表回表的现象，会造成管道泄漏的误导，遇到此情况打开真空器发生器继续抽，直到没有吸附气体释放为止。
以上两种系统维护后都必须做正压与负压的保压测试，一般正压保压压力为使用压力的1.2倍，负压保压为-12psi，保压时间至少120分钟以上，由于压力传感器（pt）受温度的影响，一般有2psi的正负波动。
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1.有部分气体具有毒、强腐蚀等特性，其一旦泄漏，就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害；
2.多种气体在同一个环境下使用，如果有两种会发生燃烧或爆1炸等---化学反应的气体同时泄漏，就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害；
3.多数气瓶出口压力1高可达15mpa，即150公斤/cm2，如果发生气瓶口减压装置失灵，就有可能将一些部件激1射出去，其能量对人体或设备都具有致命性的伤害。
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由两种以上气体混合配制而成的气体，而且主要标出大致浓度，即可满足使用要求，这种气体称为一般混合气体。
对气体分析仪用气体，如含氢10%，其余是---的混合气以及含甲1烷5%或10%；含氢40%，其余是氮或---的混合气被用作氢火焰总烃检测仪的燃料气。
在测定放1射性物质时，使用的混合气有下列几种组成:含异---0.95%，或含---1.3%，或含---1.5%，或含甲1烷5%～10%，均以---为---。
深海呼吸用含氧20%～60%，其余是氮或---的混合气。激光用气含co24%～16%，n210%～25%，其余是---。
光化学反应、动植物实验室和金属腐蚀等研究用的混合气因关系到公害问题，所以其中二氧---、二氧1化硫和硫1---等都要保持低浓度。
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