




真空镀膜机是目前制作真空条件应用为广泛的真空设备,一般用真空室、真空机组、电气控制柜三大部分组成
真空镀膜系统优点:蒸发镀膜与手套箱组合,实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中,消除有机大面积电路制备过程中---环境中不稳定因素影响,保障了、大面积有机光电器件和电路的制备。

真空镀膜机厂家查看漏气状况是---真空镀膜机真空度的一项查看办法,简称检漏,真空度的凹凸是直接影响到镀膜作用的,所以检漏是的。
通常真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的衔接位细缝中发生,当抽气系统抽气后使真空室内压强降低,外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内,形成真空度降低。
真空镀膜机厂家介绍在检漏的过程中,需求注意一些问题,才能把检漏作业做好。
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正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气,因而,有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。另外,有的真空泵不能在---压下工作,需要预真空;有的真空泵出口压强低于---压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。
正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:2bv系列水环真空泵工作压强范围760mmhg~25mmhg(绝压),在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化(详细变化情况参照泵的性能曲线),其稳定的工作压强范围为760~60mmhg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内较为适宜,而不能让它在25~30mmhg下长期工作。
真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,可以选无油真空泵,或者把油蒸气排到室外。
真空泵的工作压强应该满足真空设备的---真空及工作压强要求。如:某真空干燥工艺要求10mmhg的工作真空度,选用的真空泵的---真空度至少要2mmhg,1好能达到1mmhg。通常选择泵的---真空度要高于真空设备工作真空度半个到一个数量级。
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