1.真空室
涂层设备主要有连续涂层生产线及单室涂层机两种形式，不锈钢材料制造、表面进行化学抛光处理，真空室组件上焊有各种规格的法兰接口。
2.真空获得部分
在真空技术中，真空获得部分是重要组成部分。真空的获得不是一种真空设备和方法所能达到的，必须将几种泵联合使用，如机械泵、罗茨泵、分子泵系统等。
3.真空测量部分
真空系统的真空测量部分，就是要对真空室内的压强进行测量。像真空泵一样，没有一种真空计能测量整个真空范围，人们于是按不同的原理和要求制成了许多种类的真空计。
4.电源供给部分
靶电源主要有直流电源、中频电源、脉冲电源、射频电源(rf)。
5.工艺气体输入系统
工艺气体，如氮气(n2)、氢气(h2)、氧气(o2)等，一般均由气瓶供应，经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀，然后通入真空室。
6.机械传动部分
涂层要求周边必须厚度均匀一致，因此，在涂层过程中须有三个转动量才能满足要求。
7.加热及测温部分
涂层设备一般有不同位置的加热器，用热电偶测控温度。但是，由于热电偶装夹的位置与工件位置不同，温度读数不可能是工件的真实温度。要想测得工件的真实温度，有很多方法，可以在工件上装高温试纸或热偶计。
8.离子蒸发及溅射源
多弧镀的蒸发源一般为圆饼形，俗称圆饼靶，也有长方形的多弧靶。靶座中装有磁铁，通过前后移动磁铁，改变磁场强度，可调整弧斑移动速度及轨迹。为了降低靶及靶座的温度，要给靶座不断通入冷却水。为了---靶与靶座之间的高导电、导热性，还可以在靶与靶座之间加锡垫片。
9.水冷系统
一般由冷水塔，真空镀膜，冰水机，水泵等组成。
10.工控系统
真空检测系统，目前基本都是用复合真空计，热偶规+电离规的组合，这个组合在遇到充入大量含有c元素的气体的工艺，电离规很容易毒化，造成电离规损坏，如果镀制含有大量c元素的气体的工艺，可以考虑，配置电容薄膜规。
真空电源，真空镀膜价格，国产电源和进口电源的差距还是比较明显，当然价格也比较优惠，一台国产的20kw中频电源在8万左右，一台进口的中频电源在20万，进口电源的性能和---性，稳定性会---，国产电源由于产地就在国内，真空镀膜多少钱，可能在服务上要好于进口电源。
真空度相对来说比较稳定，但是也会受到一些因素的影响，比如---压，但是安装真空泵过滤器是不会对真空度产生影响。
关键对镀膜加工工艺的危害，不管哪些镀膜方法，真空度越高亦意味着炉内含有的杂气分子越少，那样镀膜膜层成份就更趋于你要想的占比，简易的说便是纯净度及结晶体情况更具精密性。
另外，针对镀膜而言，都有加温这一基本步骤，较高的真空度能够避免板材表层空气氧化或渗氮，对结合性有非常大的协助。
真空镀膜工艺对真空泵的要求较高，真空镀膜公司，同时，对真空泵过滤器也具有较高要求，因此推动真空泵过滤器的发展进步。
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