高纯供气报价-高纯供气-北京艾明坷

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    2023-10-1

张女士
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大宗特气供气系统介绍

大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) ---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、nf3)、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,高纯供气报价,采用1---的工艺制程设备,用气需求量大,高纯供气公司,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。

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高纯供气系统

供气系统的连接应符合 gb 50236-2011<现场设备、工业管道焊接工程施工规范>等标准的要求[11]。管道的连接应采用法兰连接或焊接等方法,氢气管道不应使用丝扣连接; 高纯气体管道应采用承插焊接; 气体管道与设备、阀门与管道或管件的连接应采用丝扣或法兰连接; 丝扣接头中的填料应采用聚四氟乙烯膜、一氧化铅、甘油调合填料; 对于高纯气体管道与阀件的连接应采用高压双卡套接头连接。



高纯气体的输送管路系统

随着微电子工业的发展,高纯供气,---规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求---严格,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。

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