




大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) ---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、nf3)、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,采用1---的工艺制程设备,用气需求量大,高纯供气生产厂家,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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稳压效果好。集中供气可采用二级减压或多级减压方式获得较好的稳压效果。例如,系统二级减压后,广西壮族自治高纯供气,加上仪器内部的调压装置,高纯供气哪里有,可以说是三级稳压,气源在一级减压后,主管路上保持较高压力,便于远距离管道输送,在仪器前端采用二级低压减压阀,将压力调整到仪器工作范围内,再进入仪器内部的压力调整后,进入仪器的气体能够---达到仪器使用要求。
1.易1燃易1爆气体:此类气体只要形成了可燃气体爆1炸混合气和达到着火温度。便会发生燃烧爆1炸事故因此在可燃气体入口处、气体钢瓶存放间、洁净室
内使用可燃气体处、敷设可燃气体的管廊或技术夹层以及可能---可燃气体的场所均应设置可燃气体报警装置。具体要求如下:
可燃气体比空气轻者,报警装置设置在所处场所的顶部。
可燃气体比空气重者,报警装置设置在所处场所的1低处。
可燃气体的报警装置应与相应的事故排风装置设电气连锁,当空气中的可燃气体浓度达到规定值时,事故排风装置自动开启,同时向洁净厂房的消防安全值班室发出报警信号。
为防止倒流回火应在用气设备的支管上设置阻火器,在排入---的排气管道上,为防止排气时突遇雷电袭1击阻止火焰蔓延至可燃气体管道引发燃烧爆1炸事故,必须在排气管道上设置阻火器。
可燃气体在适当的管道处应做接地,高纯供气厂家,但接地电阻应符合相关规定。
各种可燃气体管道系统均应设置能引入氮气等惰性气体的接口及相应的检测口,以便在可燃气体供应系统使用前后或检修动火前后对其系统进行吹扫置换,但是惰性气体吹扫接口在正常运行中不能与气体钢瓶或惰性气体管道相通,以避免影响气体。
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