福建高纯供气-高纯供气-艾明坷(商家)

高纯供气系统

1、高压波纹软管 ：外表不锈钢金属网内衬ptfe材质，长度1米以上，通径大于6mm。一端符合标准钢瓶的连接型号，另一端连接自动切换系统。承受大于3000psi。其特性为：洁净光亮、柔软、防腐。

2、低压报警器 ：低压报警器多触点可模拟数据输出型，报警器可蜂鸣闪光同时显示报警气体的名称。防爆接线、信号模拟和自动切换系统汇流排相匹配。

3、减压阀 ：316l不锈钢材质。一级减压阀进气压力0-200bar，高纯供气，出气压力0-16bar;二级减压阀进气压力0-16bar，出气压力0-6bar。进出口接口1/4” fnpt螺纹，压力表接口1/4” mnpt螺纹。

高纯气体的输送管路系统

随着微电子工业的发展，---规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大，要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高，对气体中杂质和露1点要求---严格，需要达到ppb、ppt级，尘埃粒径求控制小于0.1～0.05m的微粒，福建高纯供气，因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。

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