大宗特气供气系统主要针对---量产的8-12英寸(1英寸=25.4毫米) ---规模集成电路厂(气体种类包括sih4、n2o、2、 c2f6、 nh3等),100mw以上的太阳能电池生产线(气体种类包括nh3),发光二极管的磊晶工序线(气体种类包括nh3)、5代以上液晶显示器工厂(气体种类包括4、3、nf3)、光纤(气体种类包括sicl4)、硅材料外延生产线(气体种类包括hcl)等行业。它们的投资规模---,采用1---的工艺制程设备,用气需求量大,对稳定和不间---应、纯度控制和安全生产提出严格的要求。
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由两种以上气体混合配制而成的气体,而且主要标出大致浓度,即可满足使用要求,这种气体称为一般混合气体。
对气体分析仪用气体,如含氢10%,其余是---的混合气以及含甲1烷5%或10%;含氢40%,高纯供气系统价格,其余是氮或---的混合气被用作氢火焰总烃检测仪的燃料气。
在测定放1射性物质时,使用的混合气有下列几种组成:含异---0.95%,或含---1.3%,或含---1.5%,或含甲1烷5%~10%,均以---为---。
深海呼吸用含氧20%~60%,其余是氮或---的混合气。激光用气含co24%~16%,n210%~25%,其余是---。
光化学反应、动植物实验室和金属腐蚀等研究用的混合气因关系到公害问题,所以其中二氧---、二氧1化硫和硫1---等都要保持低浓度。
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电子工业是当今推动科技发展的---产业,由于所用气体的品种多、要求高,为有别于其它领域应用的气体,人们把这类在电子工业中用的气体统称为电子特种气体,它是当今兴起的高技术含量、高投入、高附加值的---产业。电子行业常用的特气超过三十余种,按危险性质可分为不燃气体、可燃气体、氧化性气体、腐蚀性气体、毒性气体等。按照物理形态可分为压缩气体、液化气体和低温气体。
特种气体的应用领域主要在集成电路制造、太阳能电池、化合物半导体、液晶显示器、光纤生产四大领域,其中主要应用于半导体集成电路的生产制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。
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