手套箱-艾明坷科技公司-半导体手套箱

真空热蒸发镀膜工艺

oled器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极，薄膜的关系到器件和寿命。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟，加热蒸发舟蒸镀有机 材料；在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟，半导体手套箱，金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作，电极材料有mg/ag、mg:ag/ag、li/al、 lif /al等，通常是使用低功函数的活泼金属。ito玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上，其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案，并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。

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手套箱操作步骤

将物件放入与取出主箱体的方法：

1、将物件放入主箱体的方法：当您完成“抽真空与充气”的操作后，特种焊接手套箱，如需要放物件放入主箱体，请先将过渡室的内门关上，打开过渡室的外门，将物件放入，然后关上外门，利用过渡室上的二个阀门进行抽气和充气。务必使主箱体和过渡室内的压力与---压基本平衡，才能打开里面的门，将物件拿进主箱体。

2、将主箱体内物件取出的方法： 先将物件放入过渡室，关紧过渡室内门。如过渡室内气压与---压基本平衡，即可打开过渡室外门将物件取出。

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