




随着微电子工业的发展,---规模集成电路制造的硅片尺寸越做越大,要求半导体制造工艺中的气体品质相应越来越高,对气体中杂质和露1点要求---严格,高纯供气系统报价,需要达到ppb、ppt级,尘埃粒径求控制小于0.1~0.05m的微粒,因此对高纯气体的输送管路系统提出了非常高的要求 。
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1.有部分气体具有毒、强腐蚀等特性,其一旦泄漏,就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害;
2.多种气体在同一个环境下使用,如果有两种会发生燃烧或爆1炸等---化学反应的气体同时泄漏,就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害;
3.多数气瓶出口压力1高可达15mpa,高纯供气系统,即150公斤/cm2,如果发生气瓶口减压装置失灵,就有可能将一些部件激1射出去,高纯供气系统生产厂家,其能量对人体或设备都具有致命性的伤害。
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特气系统气体管道---检漏的顺序宜采用内向检漏法、阀座检漏法、外向检漏法。
1、内向检漏法(喷---法)采用管道内部抽真空,外部喷---气的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。
2、阀座检漏法采用阀门上游充---气,下游抽真空的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。
3、外向检漏法(吸枪法)应采用管路内部充---气或---氮混合气,外部应采用吸枪检查漏点的方法检漏,测试管路系统的泄漏率。
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